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专用于编辑MEMS版图的设计工具。 ◆ 多层版图编辑功能; ◆ 可对版图进行布尔运算; ◆ 形状和拓扑学的完美结合; ◆ 自动生成最优的器件结构版图; ◆ 能读取BMP,JPG,PNG等图片格式的文件; ◆ 能通过已有层按照一定的规则自动产生一系列新的单元至指定层; ◆ 对顶点数过多的多边形进行自动简化与切割; ◆ 能够绘制椭圆、弧形、不规则曲边和正弦曲线等复杂版图; ◆ 参数脚本编辑功能:改变器件参数,可以快捷、方便地修改器件结构,大大缩短设计时间; ◆ 修改或创建新的参数脚本; ◆ 使用基于单元的VBS脚本创建复杂版图; ◆ 完整的GDSII文件转化功能; ◆ 兼容业界主流文件格式GDSII,MSK,DXF; ◆ 支持DESIGN RULE CHECK; ◆ 支持对版图进行各种布尔操作,可以很方便地创建复杂的结构; ◆ 完全支持CELL层状结构; ◆ 三维结构的工艺过程预览; ◆ 提供 Measurement and dimensioning tools,可以很方便地对版图进行标注。
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互动式编辑器件三维模型的强大工具。 ◆ 直角坐标和极坐标格点辅助创建器件的最优化模型; ◆ 对齐网格或对齐点(包括中点、交点和分割点等); ◆ 输入版图(GDS,DXF或VEC格式)优化模型; ◆ 对指定部分进行网格细分,如蛛网式、拉链式和发散式等; ◆ 兼容ANSYS、ABAQUS、PATRAN、I-DEAS格式; ◆ 能求解大规模矩阵; ◆ 方便地修改结构厚度和间隙; ◆ 自动验证网格质量与正确性; ◆ 由二维版图直接生成模型并划分成六面体网格; ◆ 自动校正不连通的网格(网格数量较少的情况下); ◆ 建立斜面网格。
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